一、功能

1. TEM模式下能够对材料结构进行亚埃尺度（<0.1nm）的表征和分析，表征原子结构像；

2. 利用电子全息技术，可以获取所需样品的振幅和相位信息，是研究材料内势场和磁场分布的有效和高空间分辨的手段，在半导体材料研究中的作用尤为突出；

3. 可对材料进行原子尺度、微纳米尺度的形貌和成分的三维重构；

4. 可对样品进行DPC分析；

5. 可对材料进行常规的形貌、成分、衍射分析，适用于晶体材料中应力、应变以及缺陷等的研究。

二、技术指标

1. 配备物镜球差校正器和单色器；

2. 配备多档加速电压：300kV、200kV、80kV、30kV；

3. 透射电子显微（TEM）模式的点分辨率：0.07nm (300kV)，0.08nm (200kV)，0.1nm (80kV)，0.15nm (30kV)；

4. 扫描透射电子显微（STEM）模式的点分辨率：不大于0.136nm (300kV)；

5. 配备电子全息技术；

6. 配备超级能谱系统，能谱分辨率小于136 eV；

7. 极靴间距5mm；

8. 具备分割式STEM探头。

三、联系工程师测试

李老师：15001009867