一、功能

1. STEM模式能够对无机材料结构进行亚埃尺度（<0.1 nm）的表征和分析；

2. 能利用高角度环形暗场（HAADF）、环形明场（ABF）、能谱（EDS）、电子能量损失谱（EELS）等技术直接观察无机材料中轻、重原子的位置和排布情况，并获得相应的化学环境和电子结构信息；

3. 可对无机材料进行形貌和成分的三维重构；

4. 可对无机材料进行差分相位衬度（DPC）分析；

5. 可表征无机材料中的原子间电场分布；

6. 可对无机材料进行常规的形貌、成分、衍射、高分辨结构等分析。

二、技术指标

1. 具备聚光镜球差校正器；

2. EELS能量分辨率：优于0.35 eV (300 kV)；

3. 透射电子显微（TEM）模式的点分辨率：优于0.22 nm (300 kV)；

4. HAADF分辨率：300 kV时0.06 nm，60 kV时优于0.136 nm；

5. 具备Super X能谱仪系统；

6. 极靴间距5.4 mm；

7. 具备Enfinium ER Model 977系统一套，拥有Dual EELS功能、 EDS/EELS同时高速采谱功能；

8. 具备分割式STEM探头。

三、联系工程师测试

刘老师：13102117032