一、功能

1. 二次电子、背散射电子成像；

2. EDS能谱分析（点、线、面）；

3. 气体环境实验。
   

二、技术指标

1. 分辨率：二次电子图像：高真空模式1.0 nm @ 30 kV，3.0 nm @ 1 kV；背散射电子像：高真空模式2.5 nm @ 30 kV，低真空及环境真空模式1.4 nm @ 30 kV；

2. 加速电压范围为200 V ～ 30 kV；束流范围为0.8 pA～100 nA（15kV）、0.8 pA～100 nA（2 kV）、0.8 pA ～100 nA（1 kV）；

3. 可通气体包括：Air、H2O。

三、联系工程师测试

张老师：15822434245