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新型X射线光电子能谱仪
2019-11-08 16:22   审核人:

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仪器中文名

新型X射线光电子能谱仪

生产厂家

THERMO   SCIENTIFIC

仪器型号

ESCALAB250Xi

购买日期

2016

安放地点

12号教学楼211

主要规格和

技术参数

1 单色化X射线源: 射线源类型:微聚焦单色化Al Kα X射线源;分析尺寸在20μm900μm之间连续可调可调,调节步长≤10μm;功率≤300W,避免高功率对样品表面带来辐照损伤。
 
能量分辨率和灵敏度(正常工作条件下):对Ag3d5/2峰,半高宽优于0.45 eV
 
大束斑能量分辨率和灵敏度(正常工作条件下):对Ag3d5/2峰能量分辨优于0.5 eV时,计数率强度高于400kcps
 
小束斑能量分辨率和灵敏度(正常工作条件下):Ag3d5/2分辨率优于0.5eV时,计数率强度应高于500cps
 
成像XPS:快速平行成像,对Ag3d5/2,线扫描的最佳空间分辨率优于3 μm
  2
、能量分析器:采谱能量分析器:外罩为纯μ金属制造;180ο半球能量分析器。
 
双极性;具有ISS分析功能。
  3
、探测器:两块独立的检测器设计,各自针对XPS采谱和XPS成像优化,避免使用一块检测器同时用于采谱和成像对于检测器的过劳使用问题。
 
类型:电子倍增器和微通道板探测器的双探测器独立式设计。采谱检测器——电子倍增探测器;成像检测器——微通道板+连续位置(DSP)探测器。
  4
、电荷中和系统:结构及操作方式:磁透镜+同轴电子枪+离轴低能离子/电子枪的双枪双束中和方式,适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和。
 
标准配置的离轴低能离子/电子枪,可以在做绝缘样品的UPS紫外光电子能谱分析和AES俄歇能谱分析时进行有效的荷电中和。
 
能量分辨率和灵敏度:对PET绝缘样品,在O-C=O结构中C1s峰能量分辨(FWHM)优于0.82 eV时,C-C结构中C 1s峰的灵敏度(正常工作条件下的真实测量值)优于60,000 cps
  5
、样品观察和调整:可变焦显微摄像机显示系统,彩色显示器,能清楚观察样品图象,图像可实时显示及储存。分析室需具备观察视窗两个,并装有防X射线玻璃;观察窗口法线方向需位于水平线以上,以方便观察。

主要功能及特色

  1、微聚焦单色化X射线源 (Al Ka线,1486.6eV,标配)
  2
XPS全谱/窄谱 (标配)
  3
XPS成像 (XPI,标配)
  4
、深度剖析 (Depth   Profile,标配)
  5
、荷电中和系统 (标配)
  6
、角分辨XPS (ARXPS,标配)
  7
、离子散射谱 (ISS,标配)
  8
、双阳极XPS (选配)
  9
紫外光电子能谱 (UPS,选配)

  10MAGCIS刻蚀离子枪(MAGCIS,选配)

主要附件及配置

仪器主体包含:分析室、样品制备室、各室配备独立的超高真空抽气系统;整套系统中应具备单色化XPS、微区XPS、平行成像XPS、离子散射谱ISS、反射电子能量损失谱REELSMAGCIS复合团簇离子枪刻蚀套件、ARXPS角分辨分析,自动化五轴样品台、高低温加热冷却台、多层样品停放台、超高真空测量装置。

送样说明

所有样品标签请按照123……n的顺序编号,不接受字母或者日期编号!样品袋上或者内置纸条写好姓名,学院,课题组导师(最后缴费的老师),电话,邮箱,每个样品需要测试的元素和要求(不清楚的可以先联系工程师讨论)。
 
粉末样品:5~10mg,尽量使用塑料管装(因为样品数量多,玻璃瓶容易打碎),请注意一定是粉末而不是颗粒!!!研磨越细越好,尽量干燥不要潮湿。
 
薄膜样品:面积5mm*5mm以内,厚度尽量2mm以内,表面平整清洁为佳。
 
注意:粉末颗粒过大、薄膜表面凹凸不平等原因有可能导致测试结果偏移较大、信号较弱等后果,请知悉。

仪器负责人

张冠南 刘欣

Tel:   022-60216409

E-Mail:   254010157@qq.com

预约网址

天津理工大学大型仪器共享平台 http://202.113.64.51/genee/

 

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