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超高分辨场发射扫描电镜
2016-04-28 13:20  

 

仪器中文名

超高分辨场发射扫描电镜

仪器英文名

Ultrahigh-Resolution Scanning Electron Microscope with FEG

型号

Verios 460L

制造商

FEI                                                                            

购买年份

2015

仪器负责人信息

席得圣

Tel: 022-60216409

E-Mail: xdssdedu@126.com

安放地点

12号教学楼一层

技术指标

1、分辨率:

  二次电子图像:0.6 nm (15 kV)0.7 nm  (1 kV)

  背散射电子像:1.5 nm (15 kV)

2、着陆电压范围为20V ~ 30 kV,束流范围为0.8 pA ~ 100 nA(15 kV)、0.8 pA ~ 100 nA(2 kV)、0.8 pA ~ 100 nA(1 kV)

3具备STEM探头

4、配备有防样品被空气氧化的传输装置

主要功能

1、二次电子、背散射电子成像

2、可以同时获取BFDF以及HAADF图像

3EDS能谱分析(点、线、面)

应用范围

用于材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域

 

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